WLS-3282
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| 概況 | |
|---|---|
| 步進行程[mm] | 51 |
| 掃描行程[μm] | >2 |
| 尺寸[mm] | 32 x 82 x 13 |
| 重量[g] | 90 |
| 力特性 | |
| 最大推力[N] | 3.5 |
| 最大負載[N] | 20 |
| 最大升力[N] | 1 |
| 開環(huán)定位 | |
| 最大速度[mm/s] | 20 |
| 定位分辨率[nm] | <1 |
| 閉環(huán)定位 | |
| 傳感器分辨率[nm] | 1 |
| 單向重復定位精度[nm] | ±40 |
| 選配 | |
| 材質(zhì) | 標配為鋁底座；其他材質(zhì)可根據(jù)要求定制 |
| 真空 | HV(1E-6 mbar)、UHV(1E-10 mbar) |
| 低溫 | 可根據(jù)要求提供 |
| 無磁 | 可根據(jù)要求提供 |
* 所有技術規(guī)格參數(shù)均為近似值，由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā)，我們保留更改技術規(guī)格的權利，恕不另行通知。