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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
納米操作機(jī)是一種可以在微納米尺度下與樣品進(jìn)行精密操作和表征（如電學(xué)、力學(xué)、光學(xué)等），兼容于各種顯微鏡平臺(tái)（如光學(xué)顯微鏡、SEM、FIB等）進(jìn)行各種物理測(cè)量的精密儀器。該系統(tǒng)全部由NATORS自主開發(fā)的模塊化部件組成，可根據(jù)用戶需求提供定制化解決方案。
產(chǎn)品特性
閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制，具有數(shù)十毫米運(yùn)動(dòng)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率
低漂移，高重復(fù)定位精度
結(jié)構(gòu)緊湊、體積小，適配市面上大部分顯微鏡平臺(tái)
模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶需求提供定制化服務(wù)
產(chǎn)品應(yīng)用
微納操作與微裝配
半導(dǎo)體納米芯片電學(xué)探測(cè)
材料納米力學(xué)測(cè)量（納米壓痕、彎曲、拉伸測(cè)試）
光電材料等原位光誘導(dǎo)或原位性能測(cè)量
MEMS器件測(cè)試
規(guī)格參數(shù)
| 概述 | 技術(shù)參數(shù) |
|---|---|
| 納米操作手?jǐn)?shù)量 | 多達(dá)8個(gè)+樣品臺(tái) |
| 每個(gè)操作手自由度 | XYZ三軸 |
| 操作手運(yùn)動(dòng)行程（XYZ） | 20 mm |
| 開環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率 | 1 nm |
| 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率 | 2 nm |
| 選配模塊 | 力傳感器 |
| 高溫樣品臺(tái) | |
| 低溫樣品臺(tái) | |
| 熱電樣品臺(tái) | |
| 旋轉(zhuǎn)模塊(機(jī)械手、樣品臺(tái)) | |
| 運(yùn)動(dòng)樣品臺(tái) |