NID-5
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| 概況 | |
|---|---|
| 孔徑尺寸[mm] | 0.6...5 |
| 外形尺寸[mm] | 34x34x8.5 |
| 重量[g] | 21 |
| 閉環(huán)定位 | |
| 開口分辨率[μm] | <1 |
| 開口速度[mm/s] | >2.5 |
| 單向重復(fù)定位精度[μm] | 20 |
| 選配 | |
| 材質(zhì) | 標(biāo)配為鋁底座；其他材質(zhì)可根據(jù)要求定制 |
| 真空 | HV(1E-6 mbar)、UHV(1E-10 mbar) |
| 低溫 | 可根據(jù)要求定制 |
| 無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
* 所有技術(shù)規(guī)格參數(shù)均為近似值，由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā)，我們保留更改技術(shù)規(guī)格的權(quán)利，恕不另行通知。