性能參數(shù)參數(shù)下載圖紙下載CAD模型
| 概況 | |
|---|---|
| 軸數(shù) | 3 |
| 步進行程[mm] | 26 per axis |
| 掃描行程[μm] | >2 |
| 靠板安裝尺寸[mm] | 60x60x72 |
| 直接安裝尺寸[mm] | 43.5x42x67 |
| 力特性 | |
| XY 最大負(fù)載[N] | 20 |
| Z 最大負(fù)載[N] | 1.5 |
| 開環(huán)定位 | |
| 最大速度[mm/s] | 20 |
| 定位分辨率[nm] | <1 |
| 閉環(huán)定位 | |
| 傳感器分辨率[nm] | 1 |
| 單向重復(fù)定位精度[nm] | ±40 |
| 選配 | |
| 材質(zhì) | 標(biāo)配為鋁底座；其他材質(zhì)可根據(jù)要求定制 |
| 真空 | HV(1E-6 mbar)、UHV(1E-10 mbar) |
| 低溫 | 可根據(jù)要求提供 |
| 無磁 | 可根據(jù)要求提供 |
* 所有技術(shù)規(guī)格參數(shù)均為近似值，由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā)，我們保留更改技術(shù)規(guī)格的權(quán)利，恕不另行通知。